將低溫泵并入真空系統中，達到清潔的超高真空環境。真空系統的主要配置和注意事項，低溫泵的選型計算，安裝、使用和維護等環節。通過嚴格把關各研發環節，按照超高真空規范進行清洗，近年來無油真空泵在半導體行業為代表的領域被引進并廣泛應用。

  作為完整的抽氣系統，低溫泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機?，F在得到廣泛應用的都是制冷機式低溫泵，其核心是低溫制冷機。

  抽氣面就可以冷凝沸點溫度較低的氣體，從而抽出大量的氣體。這種利用低溫抽氣面將氣體冷凝的抽氣泵叫低溫泵，或冷凝泵。是利用低溫介質降低表面溫度后將氣體冷凝、將被抽空間的壓力降低，而獲得真空或維持真空狀態的裝置。

  選擇低溫泵的優勢有：

  1、抽氣范圍寬，可快速獲得理想的超高真空環境，對被抽氣體無選擇，雜質顆粒而不影響系統工作；

  2、可以任意角度安裝，沒有運動部件，不需要前級泵，運行和維護成本低；與口徑相同的其它真空泵相比，低溫泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；

  3、壓縮機斷水后可以自保護，所以可以實現無人值守。