背散射圖像和二次電子圖像反映了樣品不同的信息,TM3030Plus 不僅能夠觀察形貌像,還能夠觀察成分像,在成分像中不同的亮度對應不同的成分,平均原子序數亮度越強。
TM3030Plus 在TM3030基礎上增加高靈敏度低真空二次電子探頭UVD,該探頭在低真空環境下具有很好的成像質量,而且無需樣品前處理。 TM3030Plus可將二次電子圖像和背散射電子圖像疊加成一個圖像,并實時進行顯示,二次電子圖像主要呈現樣品的高分辨表面形貌信息,背散射電子圖像主要呈現成分襯度信息。
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