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技術指標
射頻發生器
1. 電路類型:電感反饋式自激振蕩電路,同軸電纜輸出,匹配調諧,功率反饋閉環自動控制。
2. 工作頻率:40MHz±0.05%
3. 頻率穩定性:<0.1%
4. 輸出功率:800W—1200W
5. 輸出功率穩定性:<0.3%
6. 電磁場泄漏輻射強度:距機箱30cm處電場強度E:<2V/m
進樣裝置
1. 輸出工作線圈內徑25mm,3匝
2. 矩管:三同心型,外徑20mm的石英矩管
3. 同軸型噴霧器外徑6mm
4. 雙筒形霧室外徑34mm
5. 氬氣流量計規格和載氣壓力表規格:
6. 等離子氣流量計(100-1000)L/h (1.6-16L/min)
7. 輔助氣流量計(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
8. 載氣流量計(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
9. 載氣穩壓閥(0-0.4MPa)
10. 冷卻水:水溫:15-25℃ 流量>5L/min
11. 水壓>0.1MPa 冷卻水:電阻率>1MΩ
分光器
1. 光路: Czerny-Turner mounting
2. 焦距: 1000 mm
3. 光柵規格: 離子刻蝕全息光柵,
刻線密度3600線/mm,
刻線面積(80×110) mm
(可選用刻線密度2400線/mm,刻線面積:80×110mm
4. 線色散率倒數:0.26nm/mm
5.分辨率: ≤ 0.008nm
6. 掃描波長范圍:
3600線/mm掃描波長范圍:195—500 nm
2400線/mm掃描波長范圍:195—800 nm
7. 步進電機驅動zui小步距: 0.0006 nm
8. 出射、入射狹縫:20μm
9. 反射鏡規格: (78×105×16)mm
10. 透鏡φ30,1:1成像
11. 分光器恒溫裝置:32℃±1℃
光電轉換裝置
1. 光電倍增管規格:R212UH或R928
2. 光電倍增管負高壓:200-1000V 穩定性<0.05%
3. 光電倍增管電流測量范圍:1nA~100μA
4. 信號采集為v/F交換:1mV對應100Hz
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