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    電感耦合等離子體質譜儀應用過程中經常出現質量重疊(多原子干擾)的問題。為了解決這一根本性問題, ICP-MS廠商采用了下列技術:碰撞反應接口(CR)、動能歧視(KED)碰撞池,或基于冷等離子體技術和碰撞池技術的八極桿反應系統(ORS) ,但這些技術都不可避免地影響質譜儀的靈敏度。珀金埃爾默基于動態反應池(DRC)干擾消除技術研制的ICP-MS,開創性地結合了軸向場技術(AFT),可以同步解決因競爭對手所采用的干擾消除技術而必然導致的儀器靈敏度下降問題,成為業界認的一項全新技術。珀金埃爾默基于動態反應池技術地不斷提升和探索,開發了通用池技術(UCT),并應用于NexION系列之上。

 

    某些半導體制造廠近出現的化學泄漏事故引起了人們對環境安全和工業安全的警惕,因此,人們更加迫切地希望找到其他物質能夠替代動態反應池技術中常用的反應氣一無水氨氣。

    本研究中，動態反應池的反應氣被替換成了對環境和人體均無害的氧氣，旨在消除動態反應池中的干擾，消除人們對半導體制造行業的擔憂。