電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）能分析元素周期表中的大部分元素。它具有多元素同時分析的能力，檢測限低，動態范圍寬，也是無機納米粒子（ENPS）工程測量的理想選擇。由于可以直接使用ICP-MS獲得納米顆粒伴生元素的濃度，所以可以將粒子按大小首先分離，再使用ICP-MS分析，從而得到更多信息。常用的按大小分離的技術就是場流分級。通過將一定大小的分離材料引入ICP-MS，可以測出復雜的，多分散性的和化學異構的ENPS的大小和元素組成。
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