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LISICO 樂思科 3D光學干涉輪廓儀
LISICO 樂思科 3D光學干涉輪廓儀的優勢:
降低三維納米顯微技術產品化的成本
擴大技術的測量范圍
擁有獨立自主的核心技術
統一的核心技術平臺、針對不同的產業,不同的輔助軟件、輔助硬件配置,系列檢測技術和系統
多年半導體檢測技術研發和產業化經驗
所有的關鍵硬件來自美國、德國日本等
PI,納米移動平臺及控制
Nikon,干涉物鏡
NI,信號控制板和Labview64控制軟件
TMC 隔震平臺
原理:
干涉測量技術:快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
應用
1. 在太陽能產業的應用
激光開孔形貌圖,薄膜太陽能電池技術
2. 在集成電路產業的應用
上海人和科學儀器有限公司(以下簡稱“人和公司")歷經三十年的發展,目前服務過的客戶已經超過20000家,眾多
企業皆已成為人和的忠實客戶。人和公司從最初儀器設備以及售后服務的提供商,到現在引進*的自動化、智能化、
擁有物聯網的在線儀器和生產設備,為客戶量身定制整體解決方案,通過專業、細致和全面的技術服務實現“為客戶
創造更多價值"的承諾。
人和公司始終聚焦行業痛點,在解決方案中不斷融入符合中國制造2025標準,具有自動化、智能化、數字化、微型
化和模塊化帶物聯網的儀器設備。讓客戶通過這些儀器設備實時獲取生產過程中的信息反饋,進行綜合分析,不斷
優化生產工藝,從而實現在提高產品質量的同時,降低生產成本。