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Laserscale讀數頭BS78?
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點
高速和高分辨率,同時保持穩定,超密測量。適用于密工作臺、半導體/制造系統和超密加工機器。
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高分辨率的尺度,信號音高約為。138nm,優于光波干涉儀系統
高穩定性,不受濕度、氣壓和空氣干擾的影響
參考點度:±0.1μm
刻度度:±0.04μm(測量長度:40mm)
非接觸式設計了返回錯誤。
殊的無磁性和真空兼容的型號
使用低膨脹玻璃:-0.7 x 10-6/℃(測量長度:10420毫米)
規格
型號 | BS78 | |
測量長度 | 10(only N/NS)/40/70/120/170/220/270/320/370/420 | |
總長 | 58mm (L=10mm:open type scale), L + 26mm (L= 40mm to 420mm) L: 測量長度 | |
可動長 | L + 2mm (L=10mm:open type scale), L +10mm (L= 40mm to 420mm) L: Measuring length | |
度20攝氏度 |
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光柵間距 | 約 0.55μm | |
信號波長 | 約. 0.138μm (約. 138nm) | |
原點度 | 0.1μm (Only R/RS type) | |
原點位置 | 在中間,并每隔50mm從向左和 右側(BS78型號測量長度為320、370、420毫米: 距20mm,間距50mm) | |
原點檢出方向 | 單方向 | |
返回錯誤 | 這幾乎被了。它應該被認為是 小于所使用探測器的兩個分辨率限制。 | |
光源 | 半導體激光器:波長790nm,輸出6mW | |
輻射功率 | DHHS class 1 | |
原理 | 衍射光柵掃描系統 | |
作溫度 | 1030?C(無凝結) | |
儲存溫度 | -1050?C(濕度60%或以下) | |
響應速度 | 400mm/s(與BD96連接時) |
Laserscale讀數頭BS78?
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