產品特點 ：

冷陰極反磁控真空傳感器
傳感器組件容易拆卸和清洗
連接B-RAX或FlexRax控制器

技術參數 ：

測量范圍從10^-8 至10^-2 Torr。
精度- N2 (typical)    ± 30%讀數
重復性 - (typical)      ± 5% 讀數
接液材質：316不銹鋼，陶瓷，氟橡膠O型圈
靈敏度：廠家預設10^-2 Torr，用戶也可2-99調節
超壓保護：廠家默認10^-2 Torr關閉
溫度：操作溫度0-40℃，存儲溫度：-40到70℃
烘烤溫度：150℃（僅表，電子元件移除），帶磁鐵不可超過5小時
安裝方式：任意
模擬輸出：B - RAX或FlexRax控制器輸出
設定點繼電器：B - RAX或FlexRax控制器設置
顯示狀態：操作B - RAX或FlexRax控制器用戶界面選項控制CCM500陽極開/關狀態
輸入控制信號：B - RAX或FlexRax控制器控制
電源：通過 B - RAX或FlexRax控制器供電
RF/EMI認證：CE

產品選型 ：

CCM500 備件/接口                                                     型號                 傳感器備件
1 in. Tube (1 in. O.D. O-ring compression)    CCM500TX                CC5T
NW16KF                                                               CCM500BX                CC5B
NW25KF                                                               CCM500CX                CC5C
NW40KF                                                               CCM500DX                CC5D
2 3/4 in. CF / NW35CF Conflat®                       CCM500FX                CC5F
 

選項及配件 ：

電源：PS501-A

應用及案例 ：

真空泵
灌晶設備
真空鍍膜
大學科研
真空實驗
化學/物理氣象沉積
分析儀器
生物制藥