美國ALICAT 22系列雙向型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。22系列雙向型質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥，正向或反向準確測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式，一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣，實現了僅用一臺設備便可同時控制開放式或密閉容器內上游、下游端流量，以及正壓、背壓。

產品特點 ：

● 數字化產品，雙向流量控制
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
● 可選高精度：可優于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（z多5種成分），并存儲20種混合氣

技術參數 ：

介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類：內置了98種氣體，請參考“產品資料下載”氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
z大顯示流量：-100%FS～100%FS
顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
重復性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm
響應時間：100ms(可調) 預熱時間：<1s
標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ºC
工作濕度：0-100%,無冷凝
標準z大工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa
數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭
材質：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及
供電電流需咨詢我們

產品選型 ：

選項及配件 ：

●標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字信號輸入&輸出
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多種模擬信號輸入&輸出可選
可調節PID算法
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
有條件的終身質保
●可選性能
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
第二種模擬信號輸出
遠程顯示屏
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
額外標定點
定制混個氣體（z多4種）
不銹鋼閥門
集成式電位計控制

應用及案例 ：

● 大學/研究所
● 環境監測
● 真空行業及鍍膜
● 工業爐窯
● 半導體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量
● 過程工藝氣體測量