特征

• 持續高吸入壓力 可反復排至大氣

• 采用油泵強制潤滑方式

• 采用液壓油防吸裝置
  本機裝有油防吸裝置，可最大限度地減少液壓油回流到油缸中，減輕重新啟動泵時的負載。因此，您可以使用它，而不必擔心意外停電或因真空泵停止而未將進氣側恢復到大氣壓而引起的故障，例如泵油回流到氣缸中而導致重新啟動困難。

• 設計時考慮到維護。
  配備易于潤滑的大油蓋、可從多個方向檢查剩余油位的油位計以及可輕松更換機油。此外，該結構使得在檢修或修理泵時無需拆除電機接線或吸入側管道即可進行維護。

• CE 、cTUVus Compliant符合
  CE標準，可在歐盟國家和歐洲經濟區使用。還獲得了cTVUus標準，在北美可以放心使用。

• 采用ULVAC原裝高效（IE3 ）多電壓電機
  日本電機生產已統一為高效電機（ IE3 ），個別電機的進口也受（ IE3 ）管制。另外，在中國，《中國能源效率標識實施條例》已經頒布，目前修訂為GB3級（GB18613-2012 ）。它配備了由 ULVAC 集團公司制造電機。

目的

• 蒸鍍設備、濺射設備、離子鍍設備

• 分析設備/泄漏測試設備

• 氣體置換/注液

• 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣、真空絕熱

• 真空吸附/真空成型

• 其他各種真空裝置

規格

注）：本規格采用Si單位制。非 Si 單位的換算如下。
　　6.7 Pa = 5 × 10 ^-2 Torr
*1 用皮拉尼真空計測量。 （對于 MacLeod 真空計，約為6.7 x 10 ^-2
Pa。） *2 VD90C 無法在 1,000 Pa 以上的壓力下連續運行。
　 連續運行時的最大處理量為 1,000 (Pa) / 600 (g/h)。
*3 出廠設置為 200V 級三角形連接。
　 如果您使用的電壓為400V級，請在使用前改為Y接法。

選項

適合特殊應用的閥體選項

其他選項

*1 在高負載下連續運行時，泵溫度可能超過100℃，可能超過NBR橡膠的耐熱性，因此在選擇N型或B型時請小心。
*2 排出會使FKM（氟）橡膠劣化的乙二醇系氣體或液體時，請選擇此項。
*3 裝配檢查將使用氟油進行，但不包括在內。如有需要，將另行安排。
*4 標準規格、N、B、H規格所含的油為R-72。可選油需要單獨安排。

配件

所使用的油霧捕集器的型號根據油霧捕集器泵的型號和操作條件的不同而不同。

*高負荷運行是指短時間內在大氣和真空之間反復抽真空，或在10,000Pa以上的壓力下長期運行。

油過濾
為了防止灰塵、油泥等導致油變質，我們建議同時使用油凈化器和油/水分離器。

其他
?氣鎮閥
?ISO法蘭
?油回收機構