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日本ULVAC愛發科進口油回轉真空泵
日本ULVAC愛發科進口油回轉真空泵
設計緊湊，同類產品中占地面積最小□874 x 404 mm。
機械增壓泵 (MBP) 可以
使用 MBP 安裝套件直接安裝，無需支架即可安裝 MBP。
它還具有內置油回收機構，內置油霧分離器。
防止油泄漏到外部的結構。
兩級結構包括油封和屏蔽軸承，以防止油泄漏到外部。
配備原裝IE3高效多電壓電機，
單電機可應對寬電壓范圍。
光學薄膜沉積設備
反射器沉積設備
裝飾氣相沉積設備
薄膜卷繞氣相沉積設備
在線濺射設備
烘烤爐/熱處理爐
凍結干燥裝置
泄漏測試設備
空間室
| 模型 | VS300A-W | |||
| 設計抽速 | 50赫茲 | 米3 /小時（升/分鐘） | 250（4,166） | |
| 60赫茲 | 300（5,000） | |||
| 到達圧力*１ | GP閉 | 出色地 | ≦15 | |
| GP開 | ≦200 | |||
| 功耗（極限壓力） | 50赫茲 | 千瓦 | 2.8 | |
| 60赫茲 | 3.1 | |||
| 發動機 | 模型 | 全封閉外風扇式三相異步電動機 | ||
| 容量 | 千瓦（極） | 7.5（４） | ||
| 電壓 | 50赫茲 | V | 200～240 / 380～415 | |
| 60赫茲 | 200～240 / 380～460 | |||
| 噪音值*2（極限壓力時） | 50赫茲 | 分貝 | 70 | |
| 60赫茲 | 74 | |||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||
| 所要油量 | 大號 | 10～15 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||
| 冷卻水 | 一次壓力 | 兆帕G | ≦0.3 | |
| 入口/出口壓差 | ≧0.1 | |||
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | ≧3.0 | ||
| 冷卻水溫度 | ℃ | 5～30 | ||
| 冷卻水Δｔ | ≦25 | |||
| 進氣法蘭 | DN 63 ISO-F | |||
| 排氣法蘭 | G2 | |||
| 質量 | 公斤 | 270 | ||
| 外形尺寸 寬×深×高 | 毫米 | 404×871×585 | ||
| 海外安全規格 | CE、cTUVus | |||
注：本文件使用 SI 單位制。
*1 在極限壓力下發生緩慢泄漏（GP 關閉）。當緩漏閥關閉時，壓力變為≤8Pa。
*2 根據ISO2151測量和計算的平均聲壓級。
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