特征

• 對轉(zhuǎn)子軸、筒體等主要部件進行特殊的表面處理，具有較高的耐腐蝕性。

• ULVAC 螺桿式轉(zhuǎn)子軸設計實現(xiàn)了高粉末排出性能。

• 可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內(nèi)連續(xù)運行。

目的

• 電子零件、半導體制造設備用真空排氣系統(tǒng)
  蝕刻設備、灰化設備、等離子清洗設備等

• 真空熱處理爐、真空抽氣系統(tǒng)
  燒結(jié)爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)
  電極干燥設備、消泡設備、注液設備等

• 醫(yī)療及食品相關(guān)設備真空排氣
  冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

*MS1200A 可單獨購買，并添加控制板和傳感器。請聯(lián)系我們。