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愛拓利具有高水平的產品設計、結構、硬件和軟件研發水平， 擁有自主知識產權的氣體質量流量計及控制器核心部件（高精度氣體質量流量傳感器和高穩定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產設備，是國內少數能夠全面自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業之一。“以關鍵技術自主研發為核心使命、以市場為導向"，愛拓利致力于為用戶提供精準、穩定、可靠的標準化產品、定制化服務和解決方案。
MFC330 傳感器基于毛細管柱熱式傳感器，毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內部質量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。
需要預熱： 5min 內達到 95% 流量精度，最長預熱30min
響應速度較慢：基于熱傳導，MFC響應速度≤ 1s ，優點：由于其非接觸式的結構，抗腐蝕，液體不損壞，過流不損壞。
MFC330 系列氣體質量流量控制器技術參數
2 sccm – 500 slpm 滿量程
主要參數 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
介質要求 Applicable media | 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
測量范圍measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范圍 Control range | 1% - 1 00% F.S. (1:100) |
準確度 Accuracy | 標準 Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重復精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制響應時間 Settling time (in control) | <3秒 |
預熱時間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
閥門Valve function | 常閉式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
機械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作壓差范圍 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 ~ 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質Material | 氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質Seals | 氟橡膠 FKM |
防護等級 Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.96 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號 Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數據更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數字信號 Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默認), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps（用戶可修改） |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
標況 STP reference conditions | 20℃， 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 可選，具體參考說明書氣體系數 |
軟件Software | Aitoly分階流量軟件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
2 sccm~30 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm |
| ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in |
| ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62.mm | 30mm | 4mm | 10mm |
| 1.3kg |
5.43in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.157 | 0.393 |
| 2.88lb | |
蘇州愛拓利電子設備有限公司是一家擁有自主研發能力的生產銷售于一體的專注微小氣體質量流量控制器廠家，現在公司主推MFC330和MFC300兩個系列熱式氣體質量流量計MFM，流量控制器MFC。
我公司自主研發的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330），
主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優質的核心部件、高
性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控
制更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值
外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協議，可以方便高
效的與電腦、PLC、工業觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高
精度，高穩定性，極低零漂等特性。
MFC330在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工
業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型
的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻
蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系
統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器
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