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ESMFM-610 皂膜氣體流量標準裝置，采用高靈敏度紅外光電管采樣、精密電路控制、微電腦處理、觸摸屏操控及顯示、多通道測量，顯示直觀、操控方便、數據準確、測量范圍大并可保存多達10W 條以上黑歷史測量數據。該儀器廣泛用于小氣體流量的測量及泄漏率的檢測。高配置款內置4 路高精度、高控制穩定性的氣體質量流量控制器（MFC），為測量提供高精度、高穩定性的氣體輸出，使測量更加精度、便捷。
l 多通道測量，可根據不同的測量量程選擇適合的測量通道，大大提高氣體流量的測量范圍及測量精度，測量通道切換簡便。
l 采樣準確：采用高速、高靈敏度紅外傳感器采樣，高運算能力芯片控制計時，使采樣時間準確，從而避免因人工讀數造成的誤差，大大提高儀器的整機精度
l 實時溫度、壓力測量及轉換：高精度的溫度及壓力傳感器，實時、準確的對待測氣體進行溫度和壓力的測量，將測量的工況流量同步計算轉換成需要的標況流量值 。
l 智能處理及控制：自動識別測量通道，各通道獨立顯示標況流量值，標況溫度可選；自動統計處理及記錄測量數據（平均值，RSD）
l 內置 4 路MFC氣體質量流量控制器，為高精度的氣體流量測量控制穩定的氣流，使測量更精度、便捷。
l 大屏幕顯示，操作簡潔便捷。
應用場景
? 氣體采樣器流量校正
? 煙道監測儀器流量校正
? 實驗室分析儀器載氣流量校正
? 測試儀器氣體流量校正
? 氣體流量測量計校正
? 工件泄漏率檢測
主要性能及參數
l 測量流量范圍：
通道一：0.05~30 mL/min
通道二：20~1000 mL/min
通道三：600~6000mL/min
l 測量流量精度等級：0.5 級
l 4路質量流量控制器范圍及精度：
氣路 1：量程50sccm，精度：0.01sccm
氣路 2：量程300sccm，精度：0.1sccm
氣路 3：量程1000sccm，精度：0.1sccm
氣路 4：量程6000sccm，精度：1sccm
l 環境溫度：5~45℃
l 相對濕度：85%
l 供電電源：220VAC
l 適用環境：非防爆場所
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