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MFC330 熱式氣體質量流量計/控制器
MFM / MFC330 系列氣體質量流量計/控制器, 其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330依然能夠保持穩定的流量控制。
介質要求 Applicable media | 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
測量范圍measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范圍 Control range | 1% - 1 00% F.S. (1:100) |
準確度 Accuracy | 標準 Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重復精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制響應時間 Settling time (in control) | <3秒 |
預熱時間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
閥門Valve function | 常閉式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
機械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作壓差范圍 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 ~ 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質Material | 氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質Seals | 氟橡膠 FKM |
防護等級 Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
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重量 Weight | 0.96 kg |
我公司自主研發的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330），
主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優質的核心部件、高
性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控
制更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值
外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協議，可以方便高
效的與電腦、PLC、工業觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高
精度，高穩定性，極低零漂等特性。
MFC330在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工
業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型
的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻
蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系
統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器
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