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研啟科學(xué)儀器（東莞）有限公司
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激光退火設(shè)備

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:53:27瀏覽次數(shù)：46次

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v應(yīng)用范圍：對重?fù)诫s碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進(jìn)行退火

v 應(yīng)用范圍：對重?fù)诫s碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進(jìn)行退火，形成良好的歐姆接觸

v 加工尺寸：4inch、6inch

v 加工速度：1000mm/s

v 加工精度：±1μm

v 平臺參數(shù)：行程300mm×300mm

v 重復(fù)定位精度：±0.001mm

v 激光器參數(shù):紫外

v 稼動率:98%以上

v 重大故障間隙時間:＞1000H

v 良率:≥99.5%


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