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Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:33:06瀏覽次數：29次

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1.Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機

光源波長365nm

分辨率優于0.45µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產品詳情

主要技術指標

分辨率0.45µm

N.A.0.57

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光現場20mm*20mm

對準精度

LSA：100nm

FIA：110nm



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