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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> Nikon NSR 2005i8A步進式光刻機
產品型號
品 牌
廠商性質代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:31:47瀏覽次數:47次
詳情介紹
Nikon NSR 2005i8A
1.Nikon NSR 2005i8A步進式光刻機
光源波長365nm
分辨率優于0.5µm
主要用于2寸、4寸、6寸、8寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.5µm
N.A.0.6
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現場20mm*20mm
對準精度LSA:120nm
FIA:130nm
3.更多服務
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8" 設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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