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Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:30:01瀏覽次數：41次

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光源波長248nm

分辨率優于0.13µm

用于6寸、8寸及12寸生產線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產品詳情

主要技術指標

分辨率0.13µm

N.A.0.5-0.8

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現場26mm*33mm

對準精度25nm


3.更多服務

提供中英文軟件及6" 、8"、12"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材


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