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Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:29:47瀏覽次數：51次

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光源波長248nm

分辨率優于0.18µm

主要用于6寸、8寸及12寸生產線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產品詳情

主要技術指標

分辨率0.18µm

N.A.0.6-0.73

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現場26mm*33mm

對準精度35nm

3.更多服務

提供中英文軟件及6"、 8"、12"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材




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