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研啟科學儀器（東莞）有限公司
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Canon FPA3000 EX4步進式光刻機

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:28:46瀏覽次數：52次

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1.Canon FPA3000 EX4步進式光刻機

光源波長248nm

分辨率優于0.25µm

主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生產線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產品詳情

主要技術指標

分辨率0.25µm

N.A.0.4~0.6

曝光光源248nm

倍率5:1

曝光現場22mm*22 mm

對準精度60nm

3.更多服務

提供中英文軟件及4"、6"、8" 設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材


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