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應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
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美國TESCOM半導體制造用減壓閥超高純度氣體 74-3000/74-3800系列 特點介紹
TESCOM 74-3000 系列超高純度減壓穩壓器提供 5 Ra 或 10 Ra 的表面光潔度,高流量 Cv = 0.5,以及無內螺紋和低內體積設計。
進口壓力為 600、1000 或 3500 psi/41.3、69 或 241 巴,出口壓力最高為 150 psi/10.3 巴。
應用領域
· 高流量吹掃系統
· 1/2"使用點
· 特殊氣體的調節
· 半導體制造特點和優勢
· 緊湊、手裝和減壓
· 內部體積小
· 順暢、流動路徑用于吹掃
· 內部無螺紋
· 絕對壓力范圍型號可供選擇
· 金屬-金屬隔膜對主體密封件的優異氣密性
美國TESCOM半導體制造用減壓閥超高純度氣體 74-3000/74-3800系列 規格參數
操作參數ANSI/ASME B31.3標準規定的壓力額定值最大進口壓力300、600、1000或3500 psi/20.7、41.4、69.0或241巴出口壓力范圍100 mm Hg絕對壓力-15 psi、3-30、3-60、4-100和4-150 psi100 mm Hp絕對壓力-1.0巴、0.21-2.1、0.21 -4.1、0. 28-6.9和0.28-10.3巴設計耐壓額定壓力的150%設計耐壓爆破壓力額定壓力的400%經認證的最大內壓< 1 x 10-9 atm cc/sec He根據ASTM E449操作溫度:Vespel®座:-40°F至300°F/ -40°C至149°C PCTFE座: -40°F至140°F/ - 40°C至60°C Teflon® PFA座: -40 °F至160°F / -40°C 至71°C流體容量Cv=0.5衰減進口特性1.3 psi/0.09巴或100 psi/6.9巴
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