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產品簡介
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 5千-1萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 化工,電子,電氣,綜合 |
傳感器單元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空計測量單元?!笢y定子和電路一體型(測定子可以更換)」結構,能夠降低成本和節省空間
產品介紹
玉崎供應 愛發科ULVAC真空計傳感器頭WP-03
玉崎供應 愛發科ULVAC真空計傳感器頭WP-03
特點
傳感器規格:如果需要壓力
·空白計劃降低
·控制板空間節省
·配線簡化決定子交換更容易
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個使用的測量組件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用
可以輸出2個設定點
SP1:壓力為0至5 V輸出(非輸出)
電源電壓:24 VDC輸入
用途
用于半導體?電子部件等各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業設備的低真空領域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
規格
類型 | 傳感器單元 |
模型 | SP1 |
兼容的傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準確性 | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) |
±30 %(10 Pa ~1000 Pa) | |
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa) | |
工作溫度范圍 | 10~40℃ |
測量值輸出 | 非線性輸出:0至5VDC(最大10V) |
設定點 1/2 壓力設定調節監視器 | 非線性輸出:0至5VDC(最大10V) |
控制輸出信號 | 集電極開路輸出,負邏輯 |
錯誤信號 | |
設定值 1/2 | |
LED顯示屏 | 功率、錯誤、設定點 1、設定點 2 |
電源電壓 | DC24V±2V,90mA(最大) |
輸入/輸出連接器 | D-sub-15P(M2.6螺絲) |
重量 | 190克/0.41磅(不包括傳感器頭) |
標準配件 | 輸入/輸出連接器 1 個 |
快速說明書 1份 |
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