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產品介紹
TORAY東麗 半導體行業專用 多點氧氣濃度計 MS-510
TORAY東麗 半導體行業專用 多點氧氣濃度計 MS-510
多點氧濃度計MS-500/MS-510/SD傳感器系列是利用我們在半導體和電子行業積累的氧濃度計制造技術開發的，
可用于包括真空設備在內的各種設備。
配備了我們的緊湊型氧化鋯傳感器，可以長時間進行穩定和高精度的測量，并且還配備了氧傳感器保護機制，實現了超越傳統產品的耐用性。
另外，通過將氧氣傳感器和轉換器分離，最多可添加8個檢測器，可以同時測量。
操作簡單，是集成到各種處理設備中的最佳氧氣濃度計。
產品特點
主要裝置特點
?最多同時測量8點
使用一臺控制器最多可同時測量 8 點。
（可選添加轉換器/SD傳感器組）
?實現低成本、節省空間
非常適合安裝和集成到批量生產的機器中。
?可選支持
通過將傳輸輸出更改為 LAN 規格，可以從 LAN 連接器進行輸出。
傳感器特點
?對應真空氣氛
這是一種無需采樣的直插式傳感器，即使在真空氣氛中也可以進行測量。
?超快響應
使用單獨的傳感器實現最短的響應。
?高耐久性傳感器
傳感器采用特殊涂層，以實現高耐用性。
?標準等
CE 標志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000
總體規格
| 模型 | 控制器：MS-500 轉換器：MS-510 傳感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW |
|---|---|
| 測量點數 | 最多8點（每個測量點需要一套檢測單元） |
| 測量方法 | 氧化鋯氧濃差電池類型 |
| 測量范圍 | 0.001ppm～100% |
| 安裝條件 | 安裝地點：室內、非防爆區域 環境溫度：控制器/轉換器：0 至 40°C 傳感器單元：0 至 50°C 環境濕度：35 至 80%RH（無結露） 安裝溫度：控制器/轉換器傳感器單位：0 至 40℃ 傳感器單位：0 至 100℃ 不含易燃成分、鹵素、二氧化硅或腐蝕性成分 |
控制器規格
| 尺寸 | 92寬×44高×120深（毫米） |
|---|---|
| 質量 | 約0.6公斤 |
| 安裝方法 | 使用 M3 螺釘進行面板安裝 |
| 電源 | 電源：DC24V，0.3A |
| 濃度顯示 | 自動量程 數字4位顯示（濃度顯示） 自動量程切換顯示 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100% |
| 通訊輸出規格 | 通信方式：單向、RS-232C 兼容、D-sub 9 針（針接觸） 傳輸速度：9,600/19,200/38,400 bps LAN 連接：選項 |
| 選項 | LAN輸出（傳輸輸出） |
檢測器（轉換器、傳感器）規格
| 尺寸 | 轉換器：100（寬）x 40（高）x 88（深）（單位：mm，不包括突出部分） 傳感器：總長度 100（單位：mm） |
|---|---|
| 質量 | 轉換器：約 0.5kg 傳感器：約 0.3kg |
| 安裝方法 | 傳感器：用 M3 螺釘固定在平面上 傳感器：ISO 真空法蘭連接 |
| 聯系 | 轉換器與傳感器之間的連接為專用線， 標準長度為2m，最大長度為10m。 |
| 預熱時間 | 6分鐘內 |
| 電源 | 電源：DC24V、2A 功耗：60VA（標準：15VA） |
| 重復性 | 0 至 1% 量程或更高：±0.5% FS 或 更低 0 至 1% 量程或更低：±1.0% FS 或 ±0.1ppm，以較大者為準 * 不保證低于 0 至 1ppm 量程 |
| 空氣點 穩定性 | ±1.0%FS以下/24小時 |
| 樣品條件 | 請勿在還原性氣氛中使用。 另外，如果被測氣體的比熱較高，例如He濃度較高，則可能無法使用。 溫度：0～100℃ 壓力：10 -3 Pa～200kPa（絕對壓力） 濕度：露點低于環境溫度 流量：0.5～5L/min或0L/min（自然擴散下測量） |
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