抗腐蝕真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點，盡管它效率低，仍然在石油、化工、機械、造紙、礦山、輕工、醫藥及食品等工業企業得到了廣泛的應用。
抗腐蝕真空泵使用注意事項有以下幾個方面：
1、不要使用有機化合物，酸類，腐蝕性的溶劑清洗，也不要潤滑任何部位，否則會減少泵的使用壽命，使用水系的溶劑即可。
2、操作人員應熟悉說明書，了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇與被抽氣體相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
3、在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4、設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
5、維修時一定要斷開電源，如果電機無法運轉，或者其在壓力下開始運轉緩慢，關掉開關，斷開電源。確保供給電源與銘牌上所示電源一致。檢查插頭，電線還有開關，看是否有老化脫落現象。如果泵過熱，或者噪音過大，立即停止運轉，進行維修。
抗腐蝕真空泵腐蝕的危害：
1、增大化學品的耗費和污染負荷。
2、構成出產事端，削減設備壽命。
3、增大非方案停機次數，構成出產連續，影響設備的出產功率。停機清潔的話，會增加修理費用和額定的勞作負荷。
4、增大能耗丟失。傳統修正辦法有停機化學清潔、停機高壓水清潔、增加阻垢劑、人工機械清潔、停機拆開替換等辦法。但較為費時吃力，且修正作用并不好。
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