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天津泰諾科學技術有限公司
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Cressington 108Auto
  • Cressington 108Auto
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更新時間:2024-11-19 13:20:33

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Cressington 108C Auto 全自動鍍碳儀是用于掃描電鏡的的鍍碳儀系統●的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚大約 20nm 左右進行多次蒸發,無須切削或調整碳棒形狀。●108C Auto 中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。該鍍膜系統結構緊湊,容易操作,抽真空周期短。選件 MTM-10 高分辨膜厚監控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。●使用新型的蒸發裝置:電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控,蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低,碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。●自動模式下,蒸發源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下,的設計允許以脈沖或連續的方式操作,并通過旋鈕控制輸出電壓。 ●可配備 MTM-10 高分辨膜厚監控儀(選件)(分辨率優于 0.1nm,-99.9nm 到+999.9nm)

技術規格:

樣品倉尺寸:   120 x 120mm(高)   (4.75 x 4.75"),高強度不銹鋼結構

濺鍍材料:Bradley   型高純度碳棒   (6.15mm, [1/4"])

濺鍍優點:基于微處理器反饋控制,遠程電流/電壓感應;提供真空安全聯鎖裝置,最

大180A,配有過流保護

樣品臺:可放置12 個標準 SEM 樣品座,高度可在   60mm 內調節

模擬計量:真空   Atm - 0.01mb   電流: 0 - 200A

厚度監測器:   MTM-10 高精度厚度監測器(選配)

控制方式:   自動蒸鍍控制,使用可編程電壓控制和計時;可選擇手動操作或自動控制

數字計時   (0 – 30 秒),數字電壓設定   (0.1 to 6.0V)

電源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括鍍碳機和真空系統)

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