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技術規格：

樣品倉尺寸：   120 x 120mm（高）   (4.75 x 4.75")，高強度不銹鋼結構

樣品臺：可放置12 個標準 SEM 樣品座，高度可在   60mm 內調節

濺鍍優點：基于微處理器反饋控制，遠程電流/電壓感應；提供真空安全聯鎖裝置，最大180A，配有過流保護

濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調，電流40mA，程序化數字控制

濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩

模擬計量：真空   Atm - 0.01mb   電流: 0 - 200A

厚度監測器：   MTM-10 高精度厚度監測器(選配)

控制方式：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停"控制的數字定時器（0－300s），自動放氣

電源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統)