【設(shè)備特點(diǎn)】

1、精確溫濕度調(diào)控：確保曝光機(jī)、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率

2、定制化風(fēng)量設(shè)計(jì)：根據(jù)客戶的具體需求，定制風(fēng)量，送風(fēng)單元結(jié)構(gòu)均勻布置，確保空氣流通的均勻性，進(jìn)一步提升制程質(zhì)量。

3、超準(zhǔn)溫度控制：溫度控制精度高達(dá)±0.01℃，遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為產(chǎn)線環(huán)境提供了穩(wěn)定性，從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率。

【產(chǎn)品應(yīng)用】

1、溫度控制精度：±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度：±2%RH~±1%RH

3、廣泛適用領(lǐng)域：該設(shè)備廣泛應(yīng)用于面板廠、晶圓廠、封裝測(cè)試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。