真空干燥箱專為干燥熱敏性，易分解和易氧化物質而設計的，能夠向內部沖入惰性氣體，特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥。
真空干燥箱干燥樣品過程中，干燥室內的壓力始終低于大氣壓力，氣體分子數少，密度低，含氧量低，因而能干燥容易氧化變質的物料、易燃易爆的危險品等。對藥品、食品和生物制品能起到一定的消毒滅菌作用，可以減少物料染菌的機會或者抑制某些細菌的生長。
真空干燥箱干燥樣品的過程就是將被干燥物料置放在密閉的干燥室內，用真空系統抽真空的同時對被干燥物料不斷加熱，使物料內部的水分通過壓力差或濃度差擴散到表面，水分子在物料表面獲得足夠的動能，在克服分子間的相互吸引力后，逃逸到真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走的過程。
因為水在汽化過程中其溫度與蒸汽壓是成正比的，其比例關系如圖所示。所以真空干燥時物料中的水分在低溫下就能汽化，可以實現低溫干燥。這對于某些藥品、食品和農副產品中熱敏性物料的干燥是有利的。
