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CTCO-晶圓烘箱
  • CTCO-晶圓烘箱
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貨物所在地:上海上海市

地: 上海市奉賢區(qū)滬杭公路3216號(hào)

更新時(shí)間:2024-12-13 20:08:25

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晶圓烘箱適用于對(duì)加熱中需要氮?dú)獗Wo(hù)或?qū)ρ鹾亢蜐崈舳扔休^高要求的產(chǎn)品及材料在恒溫或階梯溫度下進(jìn)行預(yù)熱、老化、烘烤、固化、淬火等工藝以及恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)

晶圓烘箱外觀結(jié)構(gòu):

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿(mǎn)焊、耐高溫密封處理

★工作室內(nèi)百級(jí),采用進(jìn)口 H14耐高溫高效過(guò)濾器,過(guò)濾率0.3μm粒子99.995%以上

★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,表面溫度<45℃

★門(mén)框密封采用無(wú)氟硅橡膠密封條,耐高溫,抗老化

★隔板可調(diào)整高度及增減數(shù)量

晶圓烘箱風(fēng)路系統(tǒng):

★采用密封內(nèi)循環(huán)風(fēng)路,減少氮?dú)庀?/span>

★采用倒U型風(fēng)道結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),箱內(nèi)兩側(cè)單向水平送風(fēng),風(fēng)道倉(cāng)內(nèi)強(qiáng)壓送風(fēng)

★特殊可調(diào)導(dǎo)風(fēng)板設(shè)計(jì),保障工作室內(nèi)送風(fēng)均勻

★大功率三相異步耐高溫長(zhǎng)軸馬達(dá),不銹鋼渦輪扇葉(出廠(chǎng)動(dòng)平衡調(diào)整)結(jié)合不銹鋼蝸牛殼結(jié)構(gòu)結(jié)合兩側(cè)不銹鋼沖孔風(fēng)板,風(fēng)力強(qiáng)勁,送風(fēng)均勻,平穩(wěn),工作噪音<65dB

溫控系統(tǒng):

★不銹鋼無(wú)塵加熱器,潔凈無(wú)塵

PLC+7寸彩色觸摸屏,HMI人機(jī)交互系統(tǒng),中文操作界面,全自動(dòng)程序運(yùn)行模式, PID智能演算,自動(dòng)恒溫,超溫保護(hù),傳感器斷線(xiàn)保護(hù),斷電記憶功能,帶氧含量、溫度值,工作狀態(tài)(排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等)監(jiān)控界面、程序設(shè)定界面、歷史曲線(xiàn)界面、歷史數(shù)據(jù)功能,可通過(guò)USB導(dǎo)出數(shù)據(jù),搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件

采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊,控溫精度0.1級(jí),自動(dòng)恒溫,智能PID演算,帶30段程序升溫,帶傳感器斷線(xiàn)警報(bào),AT自整定,超溫控制,斷電記憶功能,控溫準(zhǔn),穩(wěn)定性好

高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統(tǒng):

★按鍵鎖

★超溫保護(hù)

★電流過(guò)載保護(hù)

★漏電保護(hù)

★接地保護(hù)

規(guī)格參數(shù):

設(shè)備型號(hào)

Model

CTCO-180(A/B)

CTCO-270(A/B)

CTCO-480(A/B)

控溫范圍

Operating Temp. Range

RT+10~350℃

溫度分辨率

Temperature resolution

0.1℃

溫度波動(dòng)度

Control stability

±0.5℃

溫度均勻度

Temperature uniformity

±1.5℃(at100℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

±2.5℃(at200℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

±3.5℃(at300℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

±5.0℃(at350℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

潔凈度

Cleanliness

百級(jí) Class100/  千級(jí) class1000

高效過(guò)濾器

HEPA

H14耐高溫高效過(guò)濾器,過(guò)濾率0.3μm粒子99.995%以上

氧含量

Oxygen content

<20ppm



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