小型超純水設備（如半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等），運用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其他適當的超臨界精細技術生產而出。如今，超純水已在生物、醫藥、汽車等領域得到廣泛應用。這種水中基本上只有水分子（H?O），幾乎不存在任何雜質，更沒有細菌、病毒等有機物，當然也不包含人體所需的礦物質微量元素。超純水無硬度，口感較甜，常被稱為軟水，既可以直接飲用，也可煮沸后飲用。超純水的純度是
小型超純水設備簡介
通過預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，能夠將水中的導電介質近乎去除，同時把水中不離解的膠體物質、氣體及有機物去除至很低程度的水處理設備。超純水系統設備的脫鹽核心部件為進口反滲透膜組件，通常由預處理部分、反滲透主機部分和后處理部分共同組成。
小型超純水設備工作原理如下：水進入純化系統后，主要部分流入樹脂 / 膜內部，另一部分沿模板外側流動，以洗去透出膜外的離子；樹脂截留水中的溶存離子；被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動；陽離子透過陽離子膜，排出樹脂 / 膜之外；陰離子透過陰離子膜，排出樹脂 / 膜之外；濃縮了的離子從廢水流路中排出；去離子水從樹脂 / 膜內流出。
該設備具有以下特點：整體化程度高，易于擴展，增加膜數量即可增加處理量；自動化程度高，遇故障立即自停，具備自動保護功能；膜組件為復合膜卷制而成，表現出更高的溶質分離率和透過速率；能耗低，水利用率高，運行成本低；結構合理，占地面積少；現今的膜保護系統，在設備關機時，淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈，延長膜壽命；系統無易損部件，無須大量維修，運行長期有效；設備設計有膜清洗系統和阻垢系統。
醫藥行業制備超純水的工藝大致有以下幾種：一是原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透設備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點；二是原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→PH 調節→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點；三是原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI 系統→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點。
主要用途包括超純材料和超純試劑的生產和清洗、電子產品的生產和清洗、電池產品的生產、半導體產品的生產和清洗、電路板的生產和清洗以及其他高科技精細產品的生產。
水質標準方面，出水水質電阻率 > 15MΩ.cm。超純水水質分為五個行業標準，分別為 18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。
制取要求上，新興的光電材料生產、加工、清洗，LCD 液晶顯示屏、PDP 等離子顯示屏、高品質燈管顯像管、微電子工業、FPC/PCB 線路板、電路板、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高，這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更為嚴格的要求。
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