超純水 (UPW)、高純度水或高純度水 (HPW) 是經(jīng)過凈化以達(dá)到非常嚴(yán)格的規(guī)格的水。 超純水是制造業(yè)中常用的一個(gè)術(shù)語，用于強(qiáng)調(diào)這樣一個(gè)事實(shí)，即針對(duì)所有污染物類型對(duì)水進(jìn)行最高純度處理，包括：有機(jī)和無機(jī)化合物； 溶解物和顆粒物； 揮發(fā)性和非揮發(fā)性； 反應(yīng)性和惰性； 親水性和疏水性； 和溶解的氣體。

UPW 與常用術(shù)語去離子 (DI) 水不同。 除了 UPW 去除有機(jī)顆粒和溶解氣體這一事實(shí)外，典型的 UPW 系統(tǒng)還包括三個(gè)階段：生產(chǎn)純凈水的預(yù)處理階段，進(jìn)一步凈化水的初級(jí)階段，以及拋光階段，這是最昂貴的部分 治療過程。

許多組織和團(tuán)體制定并發(fā)布了與 UPW 生產(chǎn)相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)。

zui廣泛使用的 UPW 質(zhì)量要求記錄在 ASTM D5127 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南和半導(dǎo)體加工超純水 SEMI F63 指南中。

超純水也被用作英國(guó) AGR 船隊(duì)的鍋爐給水。

細(xì)菌、顆粒、有機(jī)和無機(jī)污染源因多種因素而異，包括制造超純水的給水，以及用于輸送它的管道材料的選擇。 通常以每體積 UPW 的菌落形成單位 (CFU) 報(bào)告細(xì)菌。 顆粒使用每體積 UPW 的數(shù)量。 總有機(jī)碳 (TOC)、金屬污染物和陰離子污染物均以無量綱的單位表示法測(cè)量，例如 ppm、ppb、ppt 和 ppq。

細(xì)菌被稱為該列表中最頑固的控制之一。 有助于xxx限度減少 UPW 流內(nèi)細(xì)菌菌落生長(zhǎng)的技術(shù)包括偶爾的化學(xué)或蒸汽消毒（這在制藥行業(yè)很常見）、超濾（在一些制藥行業(yè)，但主要是半導(dǎo)體行業(yè)）、臭氧化和優(yōu)化管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)，以促進(jìn) 使用最小流量的雷諾數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，以及最小化死角。 在現(xiàn)代和先進(jìn)的 UPW 系統(tǒng)中，通常在新建設(shè)施中觀察到陽性（高于零）細(xì)菌計(jì)數(shù)。 這個(gè)問題可以通過使用臭氧或過氧化氫進(jìn)行消毒來有效解決。 通過正確設(shè)計(jì)拋光和分配系統(tǒng)，在 UPW 系統(tǒng)的整個(gè)生命周期中通常不會(huì)檢測(cè)到陽性細(xì)菌計(jì)數(shù)。

UPW 中的顆粒是半導(dǎo)體行業(yè)的禍根，會(huì)導(dǎo)致定義納米尺寸特征的敏感光刻工藝出現(xiàn)缺陷。 在其他行業(yè)，它們的影響可能從令人討厭到危及生命的缺陷不等。 可以通過過濾和超濾來控制顆粒。 來源可能包括細(xì)菌碎片、管道濕流中組件壁的脫落，以及用于構(gòu)建管道系統(tǒng)的連接過程的清潔度。

超純水中的總有機(jī)碳可以通過提供養(yǎng)分促進(jìn)細(xì)菌增殖，可以在敏感的熱過程中作為碳化物替代另一種化學(xué)物質(zhì)，以不需要的方式與生物加工中的生化反應(yīng)發(fā)生反應(yīng)，并且在嚴(yán)重的情況下會(huì)留下不需要的殘留物 在生產(chǎn)零件上。 TOC 可能來自用于生產(chǎn) UPW 的進(jìn)水、來自用于輸送 UPW 的成分（制造管道產(chǎn)品中的添加劑或擠出助劑和脫模劑）、來自管道系統(tǒng)的后續(xù)制造和清潔操作，或來自臟管道 、配件和閥門。

超純水系統(tǒng)中的金屬和陰離子污染會(huì)關(guān)閉生物工藝中的酶促過程，腐蝕發(fā)電行業(yè)的設(shè)備，并導(dǎo)致半導(dǎo)體芯片和光伏電池中的電子元件出現(xiàn)短期或長(zhǎng)期故障。 它的來源與 TOC 的來源相似。 根據(jù)所需的純度水平，這些污染物的檢測(cè)范圍從簡(jiǎn)單的電導(dǎo)率（電解）讀數(shù)到復(fù)雜的儀器。