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美國愛佩儀6D激光干涉儀
API激光干涉儀技術參數:
5D/6DAPI激光干涉儀標準型:
1. 愛佩儀激光干涉儀線性:0.5ppm
2. 測量范圍:40米(1D可選80米)
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
4. 大范圍:800角秒
5. 滾動角精度:1.0角秒
6. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
7. 大范圍:500um
8. 垂直度精度:1角秒
9. 溫度:0.2攝氏度
10.濕度:5%
11.壓力:1mmHg
5D/6DAPI激光干涉儀精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量范圍:25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值
4. 大范圍:400角秒
5. 滾動角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值
7. 大范圍:300um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg
5D/6DAPI激光干涉儀高精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量范圍:根據用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒
4. 大范圍:500角秒
5. 滾動角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um
7. 大范圍:100um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg
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