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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
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WLS-78 直線定位平臺具有更高剛度,能夠輕松集成到六軸串聯定位臺。
WLS-78 直線定位平臺
產品描述 WLS-78 直線定位平臺的尺寸為78 x 78 x 15mm,行程范圍為55mm。
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步進行程[mm] | 55 |
掃描行程[μm] | >2 |
尺寸[mm] | 78 x 78 x 15 |
重量[g] | 180 |
力特性 |
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最大推力[N] | 2 |
最大負載[N] | 10 |
最大升力[N] | 1 |
定位性能 |
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開環最大速度[mm/s] | >5 |
開環定位分辨率[nm] | <1 |
閉環最大速度[mm/s] | >1 |
閉環定位分辨率[nm] | <5 |
選配 |
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材質 | 標配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK) |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
無磁 | 可根據要求定制 |
* 所有技術規格參數均為近似值,由于產品持續研發,我們保留更改技術規格的權利,恕不另行通知。