目錄:納特斯(蘇州)科技有限公司>>納米定位臺>>多軸定位平臺>> MLS-1730-2D三維納米定位臺
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,電子,航天,電氣 |
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MLS-1730系列三維納米定位臺產品由預堆疊的LS-1730系列納米馬達組成,即裝即用。所有產品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環境下使用。
平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環反饋,實現0.05%F.S.重復定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺掃描范圍可達100μm/軸,閉環掃描精度高,直線運動無偏航。產品廣泛應用于表面測量、顯微成像等應用領域,同時適用于真空應用,滿足客戶真空應用需求。
特點
· 三維XYZ向運動
· 行程100μm/軸
· 中心通孔?10mm
· 適用于真空應用
應用領域
· 掃描顯微/表面測量
· 共焦顯微/半導體測試
· 晶圓定位/圖像處理與穩定
· 光纖定位/光學掃描
產品描述:MLS-1730-2D所用定位臺為LS-1730,運動為21x21mm。
三維納米定位臺參數:
概觀 | |
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軸數 | 2 |
所用的定位臺 | LS-1730 |
運動行程[mm] | 21x21 |
XY 最大負載[N] | 10 |
靠板安裝尺寸[mm] | 60x60x25 (L x W x H) |
直接安裝尺寸[mm] | 30x30x20 (L x W x H) |
選配 | |
材質 | 標配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK) |
真空兼容 (1E-6 mbar) | -HV |
高真空兼容 (1E-11 mbar) | 可根據要求定制 |
無磁 | 可根據要求定制 |