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PicoFemto 系列掃描電子顯微鏡 納米探針臺 基于壓電陶瓷驅動技術，運動無需潤滑，兼容掃描電鏡真空環境，并可在多種溫度范圍內工作；步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由XYZ三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。

技術指標（單個三軸探針臺）

產品選型

納米探針臺  

澤攸科技提供適配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多種掃描電子顯微鏡型號的納米探針臺，支持定制。