目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>真空鍍膜機>>磁控濺射鍍膜>> GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀
產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 化工,生物產業(yè),地礦,電子,綜合 |
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品表面的鍍膜。配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài); 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現象;陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用。體積小,操作簡單,適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。1、設有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得良好的鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
5、根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
6、已通過CE認證。
產品名稱 | GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀 | |
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16 | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 5、通風裝置:不需要 | |
主要參數 | 1、電源:220V 2、總功率:<2000W(包括真空泵) 3、真空室:?160mm×120mm 4、樣品臺:?50mm,且高度可調,可同時進行8個SEM樣品的鍍膜 5、max均勻鍍膜:?45mm | |
產品規(guī)格 | 尺寸:400mm×300mm×400mm 重量:30kg | |
標準配件 | 1、金靶材1個 2、進氣針閥1個 3、保險絲2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |