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易度智能氣體質量流量控制器【簡稱MFC】基于內部補償型*層流壓差技術,內置壓力和溫度傳感器,能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異,通過精密電磁比例調節閥自動控制氣體流量,從而提供更加準確和穩定的流量測量和控制。層流質量流量控制器可作為主要設備在高??蒲性核蛷V泛的工業過程自動化控制中使用。
特征:
l 原理:層流壓差式原理
l 便捷操作:可觸屏點擊輸入設定流量,或者提供上位機軟件設定流量。
l 核心優勢:高精度、高重復性、快速響應
l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內
l 實時顯示4種過程變量
l 內置49種氣體,,一鍵自由切換氣體,無需查找、輸入系數,并可自主編輯混合氣體
l 無需預熱時間,開機即可使用,即插即用。
l 可切換為流量計模式使用
產品規格:
l 產品型號:
SC系列-帶觸摸屏系列控制器,可觸屏操作讀取數據,方便工況現場使用,無需電腦,像手機一樣方便。
MC系列:無屏幕系列控制器,可通過上位機軟件設定流量、讀取數據,適用配套用戶,軟件可同時測控16臺流量計或控制器。
l 量程范圍:0.5sccm~5000slpm
l 閥門種類:N/C(常閉型)
性能參數:
l 精度:±1.0%S.P. , ± 0.5%S.P.
l 重復精度:±0.2%F.S. ±0.1%F.S.
l 壓力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100Kpa; Span:≤±0.2%F.S./100Kpa(基準100KPa(絕壓))
l 溫度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.02%F.S./℃(基準溫度20℃)
l 工作范圍:1%~100%F.S.
l 響應時間:≤700ms.
l 啟動預熱時間:1s
使用條件:
l 介質溫度:-20℃~60℃
l 環境溫度:-20℃~50℃
l 使用濕度:0%~98%(無冷凝)
l 工作壓力:0~1Mpa
l 耐壓:1.5Mpa
l 工作壓差范圍:100kPa~700kPa
l 供電電壓:24V±20%
l 消耗電流:<500mA (<12V)
l 安裝方式:任意角度
l 接氣部材質:SUS304,SUS316L
l 進出口:管螺紋(內螺紋)
l 接氣部密封材質:橡膠圈密封:氟橡膠
通訊方式:
l 數字信號:RS485,Profibus
l 模擬信號:4-20mA,0-5V
應用場景
l 配套流量校準平臺的流量控制設備
l 實驗中的氣體流量控制
l 機械動力測試系統中的氣體流量控制
l 材料制備實驗中的中的氣體流量控制
l 真空實驗艙及真空試驗系統中的氣體流量控制
l 生物反應器實驗裝置中的氣體流量控制
l 高精度實驗儀器的研發和試制
l 分析測試儀器
易度智能層流壓差式氣體質量流量控制器通用于工業配套、高校研究院所實驗室等氣體流量測控領域。