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易度智能層流原理流量計和控制器無需旁通毛細(xì)管預(yù)熱，流量測量在一定條件下，只有壓差一個變量，壓差信號通過壓力波傳播，可從根本上抑制MFC的零漂、溫漂、壓漂現(xiàn)象，保證傳感器的線性、重復(fù)性，使得產(chǎn)品具有具有高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)等優(yōu)勢

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點擊操作、讀取流量，或者提供上位機(jī)軟件操作。

l 核心優(yōu)勢：高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實時測量、顯示溫度、壓力、流量等多過程參數(shù)

l 內(nèi)置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數(shù)，

l 可測控混合氣體，用戶自主編輯設(shè)定混合氣體，操作簡單

l 無需預(yù)熱時間，開機(jī)即可使用，即插即用。

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號：MFM：S系列，M系列，P系列； MFC：SC系列，MC系列

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

性能參數(shù)：

l 精度：±1.0%RD，±1.0%S.P.

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.  

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

l 工作范圍：1%~120%F.S.

l 響應(yīng)時間：MFM≤100ms. ； MFC≤100ms

l 啟動預(yù)熱時間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜150mA （＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L，航空鋁材

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場景

l 配套流量校準(zhǔn)平臺的流量測量設(shè)備

l 實驗中的氣體流量測量

l 機(jī)械動力測試系統(tǒng)中的氣體流量測量

l 材料制備實驗中的中的氣體流量測量

l 真空實驗艙及真空試驗系統(tǒng)中的氣體流量測量

l 生物反應(yīng)器實驗裝置中的氣體流量測量

l 高精度實驗儀器的研發(fā)和試制

l 分析測試儀器

易度智能層流原理流量計和控制器通用于低壓氣體測控領(lǐng)域，產(chǎn)品抗電磁干擾強，可靠性穩(wěn)定性好，寬溫度、寬壓力、寬流量范圍，精度高，響應(yīng)速度快，性能方面遠(yuǎn)超傳統(tǒng)流量計。基于用戶不同場景，易度又開發(fā)了低高溫型、低壓損型、寬量程型等適用不同工況環(huán)境的產(chǎn)品系列，使得易度流量計和控制器可匹配應(yīng)用于更復(fù)雜嚴(yán)苛的工況環(huán)境，助力用戶解決問題。