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易度智能高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)精度可達(dá)± 0.5%讀數(shù)精度，產(chǎn)品精度和重復(fù)性更高，可快速精確測量多過程參數(shù)，實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計(jì)流量五大參數(shù)。適用于對精度有更高需求的用戶。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點(diǎn)擊操作、讀取流量，或者提供上位機(jī)軟件操作。

l 核心優(yōu)勢：高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示5種過程變量

l 內(nèi)置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體

l 無需預(yù)熱時(shí)間，開機(jī)即可使用，即插即用。

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號：S200，M200，P200

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

性能參數(shù)：

l 精度：± 0.5%RD

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

l 工作范圍：1%~120%F.S.

l 響應(yīng)時(shí)間：≤100ms.

l 啟動預(yù)熱時(shí)間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 壓損：4kPa~12kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜150mA （＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場景

l 配套流量校準(zhǔn)平臺的流量測量設(shè)備

l 實(shí)驗(yàn)中的氣體流量測量

l 標(biāo)準(zhǔn)表

l 稀有氣體流量使用監(jiān)控、貿(mào)易結(jié)算

易度智能高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于對精度有更高需求的用戶，用于流量標(biāo)準(zhǔn)臺的標(biāo)準(zhǔn)表、流量校準(zhǔn)臺的比對、量值傳遞等。