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氣密性測試是產品質量控制的重要環節，小到一部手機、一個藥瓶，大到汽車發動機甚至航空航天關鍵設備，能否有效密封都關系到產品性能甚至安全性。1986年美國挑戰者號航天飛機在起飛后73秒就發生爆炸，導致七名宇航員不幸遇難，事后查明原因僅僅是因為右側助推器一個O型密封圈失效導致燃料泄漏。如果事先對該密封部位進行細致的氣密性測試則可很大程度上避免災難的發生?？梢?，氣密性測試在諸多行業中都顯得尤為重要。

挑戰者號航天飛機空難

氣密性測試通常有壓差法、流量法和氦檢三種。壓差法技術難度較低同時效果也一般；流量法對管路設計有較高要求；氦檢精度高，但造價昂貴。德國著名的普發真空主流的氣密性測試設備采用的就是流量法和氦檢。其中流量法的核心部件就是高性能氣體質量流量計。

流量法檢漏設備根據被測產品性質不同分為質量流量檢漏儀和真空檢漏儀。

質量流量檢漏儀

將被測產品放入一定容腔內，通過壓力源經充氣排氣閥給容腔充氣使壓力達到一定值，關閉充氣排氣閥，切換流量選擇閥，使流量計一端接壓力源，一端接被測產品，此時流量計兩端應處于壓力平衡狀態，流量為0。如果被測產品有泄漏，流量計右側壓力會降低，氣體在壓力源的壓力下產生流動，流量計產生讀數，當讀數超過一定值時可判定為被測產品不合格。

真空檢漏儀

將被測產品放入一定容腔內，通過真空泵經流量隔離閥將檢測容腔抽至所需的負壓狀態，關閉流量隔離閥，此時流量計兩端均處于負壓平衡狀態，流量為0。如果被測產品有泄漏，檢測容腔內壓力升高，氣體從檢測容腔經過流量計流向真空容器，流量計產生讀數，當讀數超過一定值時可判定為被測產品不合格。

應用在這兩種場景下的流量計推必須具備以下特點：

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