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INHA-氣體質量流量計-數字型
基于多年的經驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
產品簡介
詳細介紹
INHA-氣體質量流量計-數字型
您好！歡迎來到仁荷微電子
基于多年的經驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
我們還專門從事MFC的研究和生產，并進口代理和銷售用MFC。此外，我們配備了校準器，可以通過提供MFC專業維修和組裝來解決技術問題和交貨時間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優質的產品和快捷，細致，可靠的服務，精誠合作，共同進步！
INHA-氣體質量流量計-數字型
| 氣體質量流量計MF-300DM | ||
| ?三維尺寸圖 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF 300D Series | ||
| • Sccm,Slm表示標準氣體流量(20°C 101.3Kpa) | ||
| ?產品規格 | ||
| ?特征 | ||
| -全數字架構 | ||
| -更快的姬應速度 | ||
| -準確度高 | ||
| -精確的流量測量 | ||
| -寬壓力范圍 | ||
| -優良的耐腐蝕性 | ||
| -出色的線性度 | ||
| -新型傳感制作工藝 | ||
| "X"尺寸規格 | ||
| 接口規格 | ||
| l/4"Lok | ||
| 3/8"Lok | ||
| l/2,,Lok | ||
| 1/4 "VCR | ||
| 1/2"VCR | ||
| © | ||
| 40.50 | ||
| 單位：mm | ||
| mm | ||
| 144.8 | ||
| 147.8 | ||
| 151.5 | ||
| 141.3 | ||
| 148.5 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF 300D Series | ||
| FLOW ? | ||
| 型號 | MF-300DM | |
| 流量規格（N2 ） 控制量程 準確度 線性精度 重復精度 響應時間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號類型 密封類型 控制類型 連接器類型 氣路接口類型 接口類型 材質 預熱時間 | 30 SLM-100SLM 2%~100% of Full Scale <±1% of Full Scale <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<1 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0~100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 14Vdc~+27Vdc/300mA 0-5V or 4-20mA/Rs485 (Modbus Rtu) Viton/Buna/Kal rez/Teflon/Epdm X D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , 3/8" , 1/2"LOK 1/4" , l/2nVCR Digital Type SUS 316L 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | |
| ?電氣連接 | ||
| 編號 | 功能 | MF-300DM |
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 14V-+27V 電源 | • |
| 3 | Rs-485 B(-) | • |
| 4 | 信號公共端 | • |
| 5 | 空 | X |
| 6 | 信號輸出 | • |
| 7 | 電源公共端 | • |
| 8 | 空 | X |
| 9 | Rs-485 A(+) | • |
| MASS FLOW CONTROLLER |