INHA-氣體質量流量控制器-數字型
基于多年的經驗,我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司,并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
產品簡介
詳細介紹
INHA-氣體質量流量控制器-數字型
您好!歡迎來到仁荷微電子
基于多年的經驗,我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司,并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
我們還專門從事MFC的研究和生產,并進口代理和銷售用MFC。此外,我們配備了校準器,可以通過提供MFC專業維修和組裝來解決技術問題和交貨時間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神,提供優質的產品和快捷,細致,可靠的服務,精誠合作,共同進步!
INHA-氣體質量流量控制器-數字型
氣體質量流量控制器MF-200DC | ||
?三維尺寸圖 | ||
rniii iirn | ||
INHA® | ||
MASS FLOW CONTROLLER | ||
?特征 | ||
-全數字架構 | ||
-更快的理應速度 | ||
-準確度局 | ||
-穩定的流量控制 | ||
-寬壓力范圍 | ||
-優良的耐腐蝕性 | ||
-出色的線性度 | ||
-新型傳感制作工藝 | ||
BE | ||
• Seem,Sim表示標準氣體流量(20°C 101.3Kpa) | ||
? L品規格 | ||
型號 | ||
MF-200DC | ||
Mass Flow Coniridlltr | ||
and 闢®Mr | ||
芭 | ||
3R | ||
76 | ||
"X" | ||
"X"尺寸規格 | ||
接口規格 | ||
l/8"Lok | ||
l/4"Lok | ||
3/8"Lok | ||
1/2"Lok | ||
1/4"VCR | ||
1/2 "VCR | ||
單位:m m | ||
mm | ||
122.7 | ||
127.3 | ||
130.4 | ||
134.4 | ||
123.8 | ||
131.4 | ||
BE | ||
56 | ||
Mass Flow Controller | ||
and Meter | ||
MF200D Series | ||
FLOW , | ||
■型號 | MF-200DC | |
流量規格(N2 ) 控制量程 準確度 線性精度 重復精度 響應時間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號類型 密封類型 控制類型 連接器類型 氣路接口類型 接口類型 材質 預熱時間 | 5SCCM-50SLM 2%?100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<1 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0~100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 14Vdc~27Vdc/300mA 0-5V or 4-20mA/Rs485(Modbus Rtu) Viton/Bu na/Kal rez/T eflon/Epd m Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , 3/8"l/2nLOK , l/4n , 1/2"VCR Digital Type SUS 316L 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | |
?電氣連接 | ||
電氣連接方式 | ||
數字型(模擬信號兼容) | ||
編號 | ||
功能 | ||
MF-200DC | ||
1 | 地 | • |
2 | + 15V -+27V 電源 | • |
3 | Rs-485 B(-) | • |
4 | 信號公共端 | • |
5 | 閥控 | • |
6 | 信號輸出 | • |
7 | 電源公共端 | • |
8 | 信號輸入 | • |
9 | Rs-485 A(+) | • |
INHA | ||
INHA | ||
MASS FLOW Meter | ||
MASS FLOW Meter | ||
mifirai | ||
^Iz- | ||
Mass Flow Controller | ||
and Meter | ||
MF200D Series | ||
• Seem,Sim表示標準氣體流量(20°C 101.3Kpa) | ||
?廣品規格 | ||
型號 | ||
流量規格(N2 ) | ||
控制量程 | ||
準確度 | ||
線性精度 | ||
重復精度 | ||
響應時間 | ||
正常工作溫度范圍 | ||
正常工作壓力范圍 | ||
漏率 | ||
電源 | ||
信號類型 | ||
密封類型 | ||
控制類型 | ||
連接器類型 | ||
氣路接口類型 | ||
接口類型 | ||
材質 | ||
預熱時間 |