光腔衰蕩光譜技術原理
光腔衰蕩光譜技術(CRDS)是上個世紀年代發明的一種氣體吸收光譜檢測技術,通過一對反射率超過99.99%的高反鏡組成一個光諧振腔,大大地提升了光在腔內的反射次數,也就提高了待測氣體的吸收光程,根據光在腔內的衰蕩時間來檢測腔內的待測氣體濃度,很容易就能達到1ppm以內的精確度。并且,激光在腔內的衰蕩時間僅與腔鏡反射率和氣體吸收系數相關,與激光的功率穩定性無關,這也是CRDS相較其他氣體檢測技術的優點。
CRDS的基本原理如下圖所示,激光從準直頭發出,通過第一個高反鏡后,大部分光被反射,透過的光在諧振腔中來回振蕩,振蕩次數可達上萬次,很大程度上增加了吸收光程。根據Lambert-Beer定律,當一束入射光進入諧振腔開始衰蕩后,PD探測器探測到光信號呈指數衰減,一直到光功率信號衰減至初始信號的1/e,這段時間就是腔衰蕩時間。
腔衰蕩時間用公式表示為:
其中L表示腔長,α表示氣體吸收系數,C表示氣體濃度,c表示光速,R表示腔鏡反射率。當R十分接近100%時,InR可以化簡為1-R,因此,在99.99%反射率的諧振腔中,腔衰蕩時間可以化簡為:
我們采用1653.7nm的DBF激光二極管作為光源,進行了CH4氣體探測的腔衰蕩光譜實驗,通過可調的7.5mm準直透鏡調節入射諧振腔的光斑。腔長為0.5m,一對高反腔鏡的反射率均大于99.99%,曲率半徑為1m,計算可得,腔內諧振的光束腰半徑應為0.477 mm,在腔的正中心,并以此反推出入射光的束腰點和束腰半徑。然后通過光斑分析儀觀察入射光,調節準直透鏡的距離和準直頭與入射腔鏡的距離,使得符合計算結果。
諧振腔通光后,以5Hz的速率掃描二極管激光器的電流,使得光頻能掃過至少一個自由光譜程,此時探測器已經可以探測到空腔衰蕩信號,微調腔鏡角度,將衰蕩信號調至最大,如下圖所示:
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