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BANNER邦納緊湊型DF-G2光纖放大器,使用DF-G2檢測晶圓的中心挑戰
在半導體工業中,檢測晶圓的位置至關重要。晶圓的價值高達100,000美元,涉及的機器耗資數百萬美元。確保晶圓片放置正確可防止損壞價格高昂的晶圓和設備。通過檢測晶圓片的中心,操作員可以確保在將晶圓片放入室內時,將晶圓片正確放置在機械臂上。
在半導體行業解決方案
通過將邦納DF-G2與四套對射式PLIS-1光纖配合使用,操作員可確保晶圓片位于機械臂的末端執行器上,以便在將其傳遞到真空室內時不會出現損壞。當機械臂將晶圓片移入真空室內時,光纖束會發生中斷,系統將采用一定的算法,根據光纖感應光束的中斷時間來計算確切的晶圓位置。
BANNER邦納DF-G2響應快速,可快速測量和檢測晶圓的中心。如果晶圓片偏離中心,機械臂就能有時間將晶圓片調整到正確位置,從而防止損壞晶片和設備。
對射式PLIS-1光纖具有90?視角,而且其光束小,因此可用于精確測量晶圓片位置。這些光纖還適用于高溫環境,例如半導體制造的真空室區域。在空間有限的區域內,遠程放置的放大器以及光纖可帶來最佳的解決方案。
BANNER邦納緊湊型DF-G2光纖放大器,邦納DF-G2光纖放大器擁有業界的快速響應速度,可以實現10微秒的響應時間以及5微秒的重復精度。
型號:DF-G2-PS-Q5
DF-G2 Red Beam High Speed Dual Display Fiber Amplifier
Range: Depends on fiber; Input 10-30 V dc
Outputs: 1 PNP
Connection: Euro M12 4-pin 150 mm PVC Pigtail
零部件號: 87559
-帶IO-Link的型號在主站設備和傳感器之間采用點到點的通信連接,便于遠程監控、示教和配置
-響應速度為10μs、15μs、50μs、250μs、500μs和1000μs
-雙數顯,同時顯示實時信號值和閾值
-簡單的用戶界面,傳感器易于安裝,可通過數顯和開關/按鍵或遠程輸入示教線進行編程
-通過示教(TEACH)和設置(SET)可設置*的過量增益和閾值,滿足絕大多數應用要求,尤其適用于快速響應或者低對比應用場合
-熱穩定性好,縮短了啟動時間,在操作過程中保持信號穩定性
-經濟顯示模式可將放大器功耗降低25%
-串擾抑制算法允許兩個傳感器近距離安裝和工作
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