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摘要:在國家鼓勵半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化的政策導(dǎo)向下,本土半導(dǎo)體材料廠商不斷提升半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)水平和研發(fā)能力,逐漸打破了國外半導(dǎo)體廠商的壟斷格局,推進中國半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化進程。半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造使用到的設(shè)備如單晶爐、多晶爐等都是惡性的諧波源,這些設(shè)備產(chǎn)生的諧波會污染電力系統(tǒng),影響系統(tǒng)的供電質(zhì)量。因此這些生產(chǎn)半導(dǎo)體的電子廠房需要一套系統(tǒng)解決方案,解決其產(chǎn)生的電能質(zhì)量問題。
關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體行業(yè);電能質(zhì)量;電能質(zhì)量監(jiān)測與治理;系統(tǒng)解決方案
1引言
半導(dǎo)體是許多工業(yè)整機設(shè)備的核心,普遍應(yīng)用于計算機、通信、消費電子、汽車、工業(yè)、軍事/政府等核心領(lǐng)域。為鼓勵半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展,突破產(chǎn)業(yè)瓶頸,我國出臺等多項政策支持半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,為半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供良好的發(fā)展環(huán)境。半導(dǎo)體等電子廠房相較于其他工業(yè)類廠房,主要特殊之處在于其潔凈等級要求高,光刻機、等離子注入機等設(shè)備的電源質(zhì)量和電壓等級要求高。生產(chǎn)半導(dǎo)體的廠房使用到的大部分電子產(chǎn)品采用了非線性的可控變流裝置、變頻調(diào)速裝置等負荷,其產(chǎn)生的諧波問題導(dǎo)致了公用電網(wǎng)電能品質(zhì)降低。若不治理,不僅會影響設(shè)備的正常運行,嚴重時甚至?xí){患者的生命安全,因此對半導(dǎo)體廠房供配電系統(tǒng)電能質(zhì)量治理的深入分析研究勢在必行。
2諧波源分析
半導(dǎo)體芯片加工電子廠房生產(chǎn)制造配電系統(tǒng),主要諧波負載為主要諧波源為單晶爐、多晶爐、各類設(shè)備、照明及變頻通風(fēng)設(shè)備、計算機及UPS等。
目前大多數(shù)單晶爐是采用中頻感應(yīng)電源加熱的工作方式,中頻電源主電路包括整流電路、濾波電路、單相橋式逆變電路和并聯(lián)諧振電路。其中整流電路采用三相全控橋式整流電路,作用是將三相50Hz工頻交流電壓整流成波動的直流電壓。單晶爐的中頻電源產(chǎn)生諧波電流僅含(k=1,2,3…)次。
單晶爐、多晶爐、IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的晶圓機或變頻控制的半導(dǎo)體機臺都會產(chǎn)生大量的諧波,他們不但會造成機臺設(shè)備自身的壞機現(xiàn)象,回流進電網(wǎng)的諧波電流還會引起其它回路的發(fā)熱,電子開關(guān)誤動作、供電電壓不穩(wěn),甚至生產(chǎn)線停線、半成品的報廢,其損失不可謂不大。而且高能設(shè)備如:外延設(shè)備、擴散設(shè)備、離子注入設(shè)備的頻繁加卸載,更加重了用電環(huán)境的惡化
3諧波影響
3.1對電網(wǎng)的影響
導(dǎo)致電網(wǎng)功率消耗變大、設(shè)備試用時間降低、接地保護功能和遙控功能出現(xiàn)異常、線路與設(shè)備熱量變大等,特別是三次諧波導(dǎo)致非常大的中性線電流,造成配電變壓器零線電流大于相線電流數(shù)值,致使設(shè)備不能平穩(wěn)運行。因此,諧波還能引發(fā)造成諧振在電網(wǎng)中發(fā)生,則會將運行正常的供電停止、情況嚴重、電網(wǎng)解裂等情況發(fā)生。諧振造成變電站局部并聯(lián)與串聯(lián),致使電壓互感器設(shè)施損壞;造成變電站系統(tǒng)當(dāng)中的設(shè)備與元件生成附加的諧波損耗,導(dǎo)致電力變壓器、電力電纜、電動機等設(shè)備溫度上升,電容器損壞,進而絕緣材料發(fā)生質(zhì)變。
3.2對用電安全造成的影響
一,失火造成災(zāi)害。有些意外失火狀況的起因多數(shù)跟電力諧波有聯(lián)系。現(xiàn)階段節(jié)能燈、調(diào)光器設(shè)施中關(guān)開電源很普及,開始為了節(jié)約能源,之后這些設(shè)施卻產(chǎn)生了諧波源,導(dǎo)致電網(wǎng)的危險系數(shù)增加,中性線電流變大,嚴重的超出線電流,造成失火的潛在安全風(fēng)險。二,有關(guān)設(shè)備損壞。電能質(zhì)量會影響繼電保護、計算機系統(tǒng)與精細儀器和機械等,造成其不能平穩(wěn)運轉(zhuǎn)和操控,減少設(shè)施利用期限,進而導(dǎo)致繼電保護錯誤操作出現(xiàn)可避免的意外損失,造成不同情況的干擾。三,通信擾亂。其電網(wǎng)擾亂的主要因素為發(fā)生諧波,通過基本靜電感應(yīng)和電磁感應(yīng),經(jīng)過通信線路導(dǎo)致聲頻混亂。其諧波頻率提升,則會有雜音問題,通過通信線路上導(dǎo)致音頻混亂。
3.3 諧波對于電氣設(shè)備產(chǎn)生的影響
一,電力電容器產(chǎn)生的影響。而電容器在電網(wǎng)無功配置容量中占有比重很大,其中少數(shù)電容器安排只參照無功補償量,不會參照裝置點電能質(zhì)量現(xiàn)實存在的污染狀況。惡劣情況下會出現(xiàn)串聯(lián)并聯(lián)諧振,造成電容器諧波過電壓與過電流,導(dǎo)致電容器開裂;二,變壓器產(chǎn)生影響。諧波電流在變壓器中發(fā)生,致使銅耗提高,造成局部過熱、震蕩、聲音變大、繞組附加過熱等;三,同步發(fā)電機產(chǎn)生的影響。在系統(tǒng)里面的同步發(fā)電機中流入負序電流與諧波電流,造成多余的損耗,導(dǎo)致發(fā)電機局部過熱,絕緣力度降低。第四,自動控制器產(chǎn)生的影響。現(xiàn)如今,數(shù)字控制技術(shù)已投入到更加廣泛領(lǐng)域,諸多精細負載針對受電電能質(zhì)量指標有更高要求。基于此,電能質(zhì)量被沾上臟物則會導(dǎo)致設(shè)備的監(jiān)測模塊中引發(fā)畸變量、造成出錯的輸出結(jié)果的損害。
4電子半導(dǎo)體行業(yè)電能質(zhì)量監(jiān)測和治理系統(tǒng)解決方案
4.1行業(yè)特征
對電能質(zhì)量要求高;負載中含有多種諧波源,配電諧波含量較高;諧波主要以6N土1次諧波為主;存在大量變頻設(shè)備,變頻設(shè)備之間存在相互諧振風(fēng)險.
4.2解決方案
半導(dǎo)體芯片制造業(yè)在國民經(jīng)濟中起著舉足輕重的作用,相關(guān)企業(yè)的規(guī)模也越來越大,其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證,還關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的順利進行。集成電路芯片制造關(guān)鍵設(shè)備多、工位器具多、工藝步驟繁多復(fù)雜。除供配電系統(tǒng)外,還需傳送系統(tǒng)、超純水凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣冷風(fēng)冷系統(tǒng)、特殊氣體分配系統(tǒng)來保證生產(chǎn)過程的順利實施以及關(guān)鍵設(shè)備的安全運行。由于整個工廠的生產(chǎn)條件通過電能供給來實現(xiàn),因此半導(dǎo)體芯片制造對供電質(zhì)量要求特別高。安科瑞電氣提出的電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)解決方案可滿足電力監(jiān)控管理、運維與電能質(zhì)量治理等方面的需求,致力于為高速公路行業(yè)用戶提供一站式的整體解決方案,從產(chǎn)品、系統(tǒng)、服務(wù)等不同方面來滿足用戶的需要,為用戶創(chuàng)造價值。
4.3方案特點
電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)即可通過本地設(shè)備為用戶提供電能質(zhì)量監(jiān)測、治理與設(shè)備運維等功能,亦可通過接入AcrelEMS-SEMI電站廠房能效管理平臺,為用戶提供遠程在線服務(wù);
符合GB/T17626.30-2012中準確度測量方法,適用于要求準確測量電能質(zhì)量指標參數(shù)的場合;
電能質(zhì)量監(jiān)測:電能質(zhì)量實時在線監(jiān)測,測量精度高、測得準,符合IEC61000-4-30標準;
電能質(zhì)量監(jiān)測與治理裝置信息互聯(lián),通過統(tǒng)一平臺管理,方便用戶同時監(jiān)測電網(wǎng)電能質(zhì)量以及治
電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)即可通過本地設(shè)備為用戶提供電能質(zhì)量監(jiān)測、治理與設(shè)備運維等功能,亦可通過接入AcrelEMS-SEMI電站廠房能效管理平臺,為用戶提供遠程在線服務(wù);
符合GB/T17626.30-2012中準確度測量方法,適用于要求準確測量電能質(zhì)量指標參數(shù)的場合;
電能質(zhì)量監(jiān)測:電能質(zhì)量實時在線監(jiān)測,測量精度高、測得準,符合IEC61000-4-30標準;
電能質(zhì)量監(jiān)測與治理裝置信息互聯(lián),通過統(tǒng)一平臺管理,方便用戶同時監(jiān)測電網(wǎng)電能質(zhì)量以及治 理數(shù)據(jù);
采用三電平電力電子驅(qū)動器件,通過更多的電平輸出更高品質(zhì)的治理波形。
4.4方案效果
對電網(wǎng)電能質(zhì)量高精度的實時監(jiān)控,包括電壓偏差、頻率偏差、諧波、電壓波動、閃變、三相電壓不平衡等。同時可對故障事件進行記錄,對監(jiān)測點負荷曲線及電壓電流、電壓偏差、不平衡度、閃變等進行趨勢分析,用戶可以通過系統(tǒng)查看發(fā)生告警的事件波形、趨勢分析,亦可根據(jù)監(jiān)測點的電能質(zhì)量情況統(tǒng)計分析生成電能質(zhì)量診斷報告。
通過集中補償+就地補償?shù)闹卫聿呗裕a償整個數(shù)據(jù)中心的無功和諧波,提高數(shù)據(jù)中心內(nèi)系統(tǒng)電能質(zhì)量、用電設(shè)備供電效率,大幅度降低設(shè)備故障率,達到數(shù)據(jù)中心內(nèi)自動化設(shè)備對電源質(zhì)量的要求,可解決諧波的干擾及誤跳閘問題。
系統(tǒng)提供多維度的用電指標統(tǒng)計與電能數(shù)據(jù)分析工具,為配電系統(tǒng)運行管理優(yōu)化和節(jié)能損耗提供指導(dǎo)。
5安科瑞電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)產(chǎn)品選型
5.1集中治理
電子廠房內(nèi)會使用到如風(fēng)機、空調(diào)等等電器,這些電器分布較為分散,且單一的設(shè)備產(chǎn)生的諧波量較少,且為確保無功功率因數(shù)達到國標要求值,避免罰款,在配電房處對這些負載產(chǎn)生的電能質(zhì)量問題進行集中治理,同時也可對整個低壓供配電系統(tǒng)進行電能質(zhì)量在線監(jiān)測,其中包含諧波分析、波形采樣、電壓暫降/暫升/中斷、閃變監(jiān)測等,其集中治理的產(chǎn)品選型見表1。
5.2就地治理
電子廠房在生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的過程中需要使用到可控變流裝置、變頻調(diào)速裝置等負荷,這些設(shè)備在運行過程中會產(chǎn)生大量的諧波污染電網(wǎng),如果不從源頭治理會影響到電壓的畸變率,會造成其他負載的損壞。針對以上負載情況,建議在各重要設(shè)備的配電箱增加電能質(zhì)量補償設(shè)備進行就地治理,達到終端治理諧波的目的,避免諧波影響到整個配電系統(tǒng)和其他用電設(shè)備。
5.3電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng) (1)平臺拓撲
電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)系統(tǒng)平臺主要由電能質(zhì)量治理設(shè)備、物理網(wǎng)關(guān)、服務(wù)器及服務(wù)終端四部分組成,其中電能質(zhì)量治理設(shè)備作為基礎(chǔ)實現(xiàn)對數(shù)據(jù)采集與電能質(zhì)量補償?shù)龋锢砭W(wǎng)關(guān)實現(xiàn)設(shè)備與服務(wù)器間的數(shù)據(jù)傳輸以及對設(shè)備進行策略功能分配,數(shù)據(jù)經(jīng)由服務(wù)器以服務(wù)終端為媒介為用戶提供可視化展示。
(2)平臺展示
電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)除作為本地終端為用戶提供電能質(zhì)量監(jiān)測、治理與設(shè)備運維等功能外,亦可通過接入AcrelEMS企業(yè)微電網(wǎng)能效管理平臺,為用戶提供遠程在線服務(wù)。
6江蘇某電子廠房項目電能質(zhì)量治理項目案例
6.1項目背景
江蘇某電子廠房內(nèi)除生產(chǎn)半導(dǎo)體的核心器件外,還有傳送系統(tǒng),水凈化系統(tǒng),風(fēng)冷系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)等,對電能質(zhì)量要求非常高。這些設(shè)備皆屬于非線性負載,在使用過程中會產(chǎn)生大量諧波并注入系統(tǒng)中;如果不進行諧波治理,對電網(wǎng)造成嚴重的污染,也影響電子廠房中其他設(shè)備的誤動作、中斷甚至癱瘓,降低了配電系統(tǒng)的安全性、可靠性。
6.2治理方案
根據(jù)以往測量經(jīng)驗進行諧波分析與估算,諧波主要由單晶爐、晶圓機和一些非線性負載產(chǎn)生,供電系統(tǒng)由2臺1200kVA變壓器,采用集中治理+就地治理的方案。
集中治理:電子廠房內(nèi)空調(diào)、風(fēng)機設(shè)備的分布很廣,因此在每臺變壓器下加裝400A有源諧波治理系統(tǒng)裝置,由兩臺150A模塊和一臺100A模塊并機實現(xiàn),型號為整柜式AnSin400-G Ⅰ型,自動跟蹤補償負載產(chǎn)生的諧波電流,保證供電系統(tǒng)安全可靠運行。
就地治理:單晶爐是該中心惡性的負載,因此需要在配電末端對其產(chǎn)生的諧波電流進行治理,避免干擾其他用電設(shè)備,因此在使用單晶爐的配電間安裝壁掛式ANAPF600-380/BBL有源電力濾波器,就地治理單晶爐產(chǎn)生的諧波污染。
6.3治理效果
選取該廠房單晶爐出線端配電箱,對其前后波形數(shù)據(jù)進行對比,通過裝設(shè)壁掛式ANAPF600-380/BBL有源電力濾波器裝置后,電壓畸變率以A相為例從10.45%降值5.58%,電流畸變率從28.94%降值5.67%,提升了電網(wǎng)波形質(zhì)量,具體效果及參數(shù)如下表所示。
7 結(jié)論
半導(dǎo)體材料技術(shù)在國內(nèi)的發(fā)展促使很多半導(dǎo)體加工設(shè)備投入使用,這些設(shè)備普遍采用了電力電子變流和控制器件。這些設(shè)備在工作的同時也會產(chǎn)生大量的諧波,它們不但會造成機臺設(shè)備自身的壞機現(xiàn)象,回流進電網(wǎng)的諧波電流還會引起其它回路的發(fā)熱、電子開關(guān)誤動作、供電電壓不穩(wěn),甚至引起生產(chǎn)線停線、半成品的報廢。因此,安科瑞為電子廠房行業(yè)提供了一套完整的電能治理監(jiān)測與治理的系統(tǒng)解決方案,使電子廠房的電能質(zhì)量問題得到了的治理。從成本、性能、可靠性等角度綜合考慮,該方法具有較高的性價比。
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