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杭州拓開諾貿易有限公司

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切割硅片導輪輪廓測量儀

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【詳細說明】

 

日本三豐輪廓測量儀CV-1000  CV-2000
簡單介紹
數字檢出型輪廓形狀測定機 CV-1000N2/2000M4 特長:由于將X軸、Z軸加以數字化,所以不必*仰賴于測定倍率的大小,即可做到大范圍的高分解能測定。與計算機連接并加上計算機解析軟件「Formpak-1000」,即可做出各式各樣的測定與分析。若不連接計算機,亦可連接XY繪圖機,并可在繪圖機的數據處理機上先行確認圖形或量測方式是否正確。
技術參數

X
測量范圍
50mmCV-1000)或100mm()CV-2000
分辨率
0.2μm
測量方法
反射型光柵尺
驅動速度
0.2mm/s
測量速度
0.02-5mm/s
測量方向
/向后
直線度
3.5μm /50mm
1.5μm/mm(當X軸在水平方向上
指示精度
20
±3.5+2L/100μm
L為驅動長度(mm
傾斜范圍
±45°CV-2000
Z1
測量范圍
25mmCV-100)或40mmCV-2000
分辨率
0.4μmCV-1000系列)
0.5μmCV-2000系列)
測量方法
弧形編碼器
指示精度
20
±3.5+14H/25μm
H為水平位置上的測量高度(mm
探針上下運作
弧形運動
探針方向
向下
測力
10-30mN
跟蹤角度
向上
77°
向下
87°
探針針尖
半徑
25μm
材料
硬質合金針尖
基座尺寸(H
750x600mmCV-2000
基座材料
花崗巖(CV-2000
重量
主機
5kgCV-10000N2)、115.8kgCV-2000M4)、124kgCV-2000S4
控制裝置
14kg 
遙控箱
0.9kg
電源
100-240VAC±10% 50/60Hz
能耗
150W僅限主機

性能參數

型號
CV-1000N2
CV-2000N4
CV-2000S4
X1軸測量范圍
50mm
100mm
100mm
Z1軸測量范圍
25mm
40mm
40mm
Z2軸測量范圍
-
250mm
320mm

 

    
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