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目錄:江蘇雷博科學儀器有限公司>> 臺式光刻機

臺式光刻機
  • 臺式光刻機
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具體成交價以合同協議為準
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  • 品牌
  • 型號
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 無錫市
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更新時間:2025-03-06 18:10:53瀏覽次數:789評價

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臺式光刻機參數:1.最大曝光面積:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(膠厚≤0.5um的正膠)。3.對準精度:±1um(標準晶圓拋光片)。4.光源強度:35mW/cm2。5.曝光波長:LED光源(進口燈珠,壽命>1萬小時)
  臺式光刻機參數:
 
  1.最大曝光面積:160mm*160mm
 
  ⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
 
  3.對準精度:± 1um(標準晶圓拋光片)
 
  4.光源強度:35mW/cm2
 
  5.曝光波長:LED光源(進口燈珠,壽命>1萬小時)
 
  6.曝光方式:定時(倒計時方式)
 
  7.掩模樣片相對運動范圍:X:優于±5mm;
 
  8.Y:優于±5mm;0:優于±6°
 
  9.掩模尺寸:7英寸,樣片規格:6英寸(晶圓片)
 
  10.數字設定對準間隙和曝光間隙
 
  11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續可調
 
  12.對準方式:自動對準,可根據客戶需求,增加對準標記的類型,累計不超過4組
 
  13.自動輸片:機械手自動輸片(專用樣片機械手臂及片叉),含預對準定位功能
 
  14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數字設定)
 
  15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠心鏡頭+顯示器對準,光學合像
 
  16.調平接觸壓力通過傳感器保證重復
 
  17.雙物鏡可調距離范圍:30mm-130mm
 

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