產品簡介
光波穿過掃描掩膜時,將光波衍射為光強近似的三束光:+1、0和-1。在被光柵尺衍射的光波中,在反射的衍射光中,光強至強的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,再一次被衍射和干涉。也形成三束光,并以不同的角度離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強轉化成電信號。
詳細介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
可靠性
海德漢公司的敞開式直線光柵尺特別適用 于高速和精密機床。盡管機械結構是敞開 式的,但這些光柵尺擁有較強抗污能力, 能確保優異的長期穩定性,而且安裝簡單 快捷。
抗污染能力強
高質量的光柵和掃描方式是直線光柵尺高 精度和可靠工作的保證。海德漢敞開式直 線光柵尺采用單場掃描原理,由單一的大 型掃描場生成掃描信號。測量基準上的的 局部污染(例如安裝過程中的手指印或導 軌的油滴污染)只影響信號分量光強,因 此等量地影響掃描信號。盡管這樣的污染 造成輸出信號改變,但其偏移和相位不受 影響。這些信號可高倍頻地細分,單信號 周期內的位置誤差極小。
而且,大面積掃描場還能降低對污染的敏 感性。根據污染性質,該功能甚至可以避 免光柵尺失效。LIDA 400和LIF 400尤其如 此,這兩款光柵尺相對其柵距都擁有較大 的掃描場(14.5 mm2 )。LIC 4100同樣如 此,其掃描面積達15.5 mm2 。即使是打 印墨粉、印刷電路板粉塵、直徑3 mm以 內的水滴或油滴,這些光柵尺仍提供高質 量信號。位置誤差遠遠低于光柵尺精度等 級對應的誤差值。
LIDA、LIC、LIF和LIP 6000直線光柵尺配 海德漢HSP 1.0信號處理的ASIC處理 器。ASIC連續監測掃描信號并幾乎*地 補償信號幅值的波動。如果掃描掩膜或測 量基準污染導致信號幅值減小,ASIC提高 LED電流進行響應。即使高穩定性的信 號,也能確保LED光強的增加只提高噪音 水平。因此,污染只輕微影響細分誤差和 位置噪音。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
LIDA 475,LIDA 485
增量式直線光柵尺,測量長度長達30 m
• 測量步距達10 nm
• 自帶限位開關
• 易于安裝,配鋁制底座
• 直線光柵尺和讀數頭配套使用