產品簡介
高質量的光柵和掃描方式是直線光柵尺高精度和可靠工作的保證。海德漢敞開式直線光柵尺采用單場掃描原理,由單一的大型掃描場生成掃描信號。測量基準上的的局部污染(例如安裝過程中的手指印或導軌的油滴污染)只影響信號分量光強,因此等量地影響掃描信號。盡管這樣的污染造成輸出信號改變,但其偏移和相位不受影響。這些信號可高倍頻地細分,單信號周期內的位置誤差極小
詳細介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
堅固耐磨的測量基準
敞開式直線光柵尺由于其結構特點,測量 基準的抗污染能力較低。為此,海德漢公 司全部采用*工藝生產非常堅固耐磨的 光柵。
OPTODUR和SUPRADUR工藝中,為主反 光層上增加透光層。為形成光學三維相位 光柵,高硬度的鍍鉻層的厚度極薄,僅數 納米。成像掃描原理的光柵結構與 METALLUR工藝的光柵類似。在反光的金 層上覆蓋薄薄一層玻璃。其上為鉻線,作 為吸收器。由于厚度僅數納米,這些鉻線 是半透明線。實踐證明OPTODUR、 SUPRADUR或METALLUR光柵測量基準的 抗污能力非常強,由于其刻線很薄,灰 塵、污物或水滴難以留在其表面上,因此 抗污染能力非常出眾。
實用的安裝公差
信號周期越小一般也要求讀數頭與鋼帶光 柵尺間的安裝公差越小。這是光柵的衍射 作用造成的。如果間隙僅變化±0.1 mm, 衍射將導致信號衰減50%。但由于光柵尺 采用干涉掃描原理和在成像掃描原理的光 柵尺上采用創新的掃描掩膜技術,盡管信 號周期很小,也允許實用的安裝公差。
海德漢公司的敞開式直線光柵尺的安裝誤 差只對輸出信號有輕微影響。特別是光柵 尺與讀數頭間定義的間隙誤差(掃描間 隙)對信號幅值的影響十分輕微。工作期 間,HSP 1.0進一步提高信號的可靠性和 穩定性。通過這兩幅圖可看出LIDA 400和 LIF 400系列光柵尺掃描間隙與信號幅值間 關系。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
LIDA 477,LIDA 487
增量式直線光柵尺,測量范圍可達6 m
• 測量步距達10 nm
• 自帶限位開關
• 易于安裝,配鋁制底座
• 直線光柵尺和讀數頭配套使用